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| 基本參數 | ||
| 名 稱 | 訂 貨 編 號 | 規格和型號 |
| 絕對過濾器總成-含濾器 | VA系列適用 | |
| 絕對過濾器總成-含濾器 | IV055及以下機型適用 (PN型不適用) | |
| 絕對過濾器總成-含濾器 | IV075/090/130適用 (PN型不適用) | |
| 絕對過濾器
VA系列及IV055以下適用 |
φ352×150，精度0.3μm，99.99% | |
|
絕對過濾器 IV075、090/130機型適用 |
φ352×220，精度0.3μm，99.99% (PN型不適用) | |
| 絕對過濾器 IV185/200適用 | φ215×220，精度0.3μm，99.99%，共三個 (PN型不適用) | |
